廃液ドレンパン

・ドレンパンに汚れや残留物が付着し、除去しにくい

・液溜まりや付着物によって、清掃コストがかかる

・廃液による腐食や金属イオン溶出が課題になっている

・廃液による腐食や、清掃時の摩耗による表面劣化を抑えたい

半導体製造では様々な薬液が使用されます。

代表的なものの一つであるフッ酸は、シリコンウエハーの洗浄液として、またシリコン酸化膜のエッチング剤として使用れれる事が多いです。

近年、半導体製造工程で使用した薬液や廃液を単に廃棄するのではなく、回収・精製して再利用する取り組みが進んでいます。

それに伴い、廃液の回収・移送・処理設備に使用される部品にも、耐薬品性や清浄性が求められています。

廃液ドレンパンや受け皿も、薬液の飛散や廃液を受け止める重要な部品と言えます。

シャイン工芸では、使用環境やお困りごとに応じた機能性コーティングをご提案します。

・ブルーアーマー： 厚膜の耐蝕性フッ素樹脂コーティング。薬液による金属基材の腐食を抑え、金属イオンの溶出防止も期待できます。

・PFAコーティング： 優れた耐薬品性と非粘着性を活かし、薬液への耐性や付着物の除去性を改善します。

・セラアーマー： PFASフリーのセラミックコーティング。耐摩耗性・非粘着性を活かし、清掃性や表面の耐久性向上に役立ちます。

適切なコーティングを選定することで、清掃作業の効率化、腐食・摩耗による劣化の抑制、部品の長寿命化が期待できます。

腐食性の強い廃液にはブルーアーマーやPFA、耐摩耗性や非粘着性を重視する場合にはセラアーマーなど、廃液の種類・濃度・温度や使用条件に合わせてご提案します。

半導体製造装置の廃液ドレンパンや受け皿の腐食、金属イオン溶出、付着防止など課題は、ぜひシャイン工芸にご相談ください。

◎フッ素樹脂コーティング◎
https://shinekohgei.co.jp/fluorine

◎PFASフリーコーティングセラアーマー◎
https://shinekohgei.co.jp/cera

◎耐蝕性コーティングブルーアーマー◎
https://shinekohgei.co.jp/blue

◎イプロス製品ページ◎

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