半導体部品洗浄カゴ

半導体部品洗浄カゴに耐薬品性コーティング｜ブルーアーマー

半導体製造では、部品に付着した微細な異物や汚れを除去するため、フッ酸などの強い薬品を使用した洗浄工程が行われます。洗浄に使用する部品も接液するため、金属部品では腐食が課題となる場合があります。

薬液洗浄で使用するカゴに耐薬品性コーティング「ブルーアーマー」を加工しています。

ブルーアーマーは、腐食成分から母材を保護する耐薬品性コーティングです。つまり薬液と素材との接触を抑え、洗浄カゴの腐食対策や長寿命化が期待できます。

今回の加工事例では、線材を組み合わせた半導体部品洗浄カゴにもブルーアーマー加工を行っています。つまり密着性にも優れており、平面だけでなく、線材や細かな形状部品にも加工できます。

半導体製造装置周辺では、洗浄カゴだけでなく、薬液に接触する治具、搬送部品、配管、各種金属部品などにも耐薬品性や耐蝕性が求められます。使用環境条件、素材形状によって適した仕様は異なるため、事前の条件確認が重要です。

「半導体部品の洗浄工程部品が腐食する」「薬液洗浄に使用する金属治具を保護したい」「線材や複雑形状の部品に耐薬品コーティングを施したい」といった課題がございましたら、シャイン工芸へご相談ください。半導体関連部品の使用環境に合わせ、ブルーアーマーによる最適な表面処理をご提案します。

◎フッ素樹脂コーティング◎
https://shinekohgei.co.jp/fluorine

◎PFASフリーコーティングセラアーマー◎
https://shinekohgei.co.jp/cera

◎耐蝕性コーティングブルーアーマー◎
https://shinekohgei.co.jp/blue

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